实用型扫描电子显微镜KYKY-2800

KYKY-2800系列 
实用型扫描电子显微镜 
          
项目 KYKY-2800B KYKY-2800BZ KYKY-2800A KYKY-2800AZ 
分辨率 4.5nm(30KV) 
放大倍数 15x~250,000x  
电子枪类型 发叉式钨丝阴 
加速电压 0~30KV 
透镜系统 三级电磁透镜 
物镜光阑 三个光阑可在真空外选择调节 
样品台 手动 X/Y轴自动 手动 X/Y轴自动 
行程 X 0~50mm(大样品台0~80mm) 
Y 0~50mm 
Z 0~25mm(大样品台0~30mm) 
R 360o  
T ‘-5o ~90o （大样品0o~90o） 
探测器 二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选） 
真空系统 扩散泵 扩散泵 分子泵 分子泵 


KYKY-2800  Series 
Practical Type SEM 
          
Model KYKY-2800B KYKY-2800BZ KYKY-2800A KYKY-2800AZ 
Resolution 4.5nm(30KV) 
Magnification 15x~250,000x  
Electron gun Hair fork tungsten cathode 
accel voltage 0~30KV 
Lens System Level 3 electromagnetic lens 
Lens Isis three diaphragm can be adjusted without vacuum 
Stage

 
 Manual X/Y axis Automatic Manual X/Yaxis

Automatic
 
Move Range X 0~50mm(large stage 0~80mm) 
Y 0~50mm 
Z 0~25mm(large stage 0~30mm) 
R 360o  
T ‘-5o ~90o （large stage 0o~90o） 
Detector secondary electron detector ，backscattered electron detector （optional），X-ray Energy Disperse Spectroscopy (optional) 
Vacuum system diffusion pump diffusion pump molecular pump molecular pump