美国QVI 高精密 光学影像测量仪——VIEW Precis 200

新的Precis 200是基于Micro-Metric的Innova晶圆量测系统开某发而来，采用了VMM 公司的设计和技某术。
, 新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备通用，以及可某靠。 
扩展了Z轴范围  2.5mm, 5mm or 100mm 
透射照明 
完整电子绘图  符合 SEMI S2 和 CE 标准 
符合人某体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合 
全自动显微镜，所有设置计算机控制 
好的分辨率像素摄像头 
VIEW Metrology Software (VMS) 可测组件很广某泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。 
MMWin  晶圆片 和Mask计量软件 晶圆片的重某要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器. 
X,Y,Z行程(mm):       标准  200 x 200 x 5              可选  200 x 200 x 100 载重:                 12 kg 
XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um 
Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens) 
分辨率：                    0.01 微米
视场测量精度和重复性：0.01 m (100x)
直流伺服马达驱动
Precis 主要用于以下应用：
- 亚微米测量：
   微器件和电子元器件封装、引线框
   微型球状引脚栅格阵列封装
   硬盘驱动臂、探针卡、刀片
- CD 和套刻测量：
  线宽、涂覆层
   MEMS 器件、接触窗、喷墨打印头
   硬盘驱动头、磁头等